锆钛酸铅薄膜中裂纹形成机制及标度律 刘智鹏,罗昊,朱瑞,等 西北大学物理学系/光电技术与功能材料国家重点实验室  全文: PDF   摘要： 关键词：  残余应力;裂纹;标度律;PZT薄膜;射频磁控溅射 发表年限: 2013年 发表期号: 第5期